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三乙胺气体发生器

三乙胺气体发生器

SG15/40 气体发生器

采用磁力泵定量三乙胺,定量精度高。

配有防爆加热器,保证三乙胺的良好气化和载流气体的加热。

通过人机界面,对吹气过程的压力、时间等工艺参数进行设定,并可同时储存不同芯盒的工艺参数。